設置費用較高

設備成本低廉電漿束窄，電熱能轉換效率低（25%∼35%）

擴散式火炬，電、熱能轉換效率高（80％∼90％）

操作成本高，操作功率調整頻寬窄（3：1）

操作成本較DC低30％∼60％可操作功率頻寬較廣（約10比1）

可用之工作氣體種類有限制

可用之工作氣體種類多，廢氣、固態小顆粒皆可